Am Fraunhofer IPA in Stuttgart werden Komponenten und Anlagen auf ihre Reinheitstauglichkeit geprüft.
Grundlage dieser Prüfung ist das neue Richtlinienblatt VDI 2083 Blatt 8.

Die Angaben Reinheitstauglichkeit und Reinraumtauglichkeit waren bisher begrifflich nicht eindeutig hinterlegt. Ein neues Richtlinienblatt, VDI 2083 Blatt 8, das unter Mitwirkung des Fraunhofer IPA entstanden ist, beseitigt dieses Defizit.

Reinraumtauglichkeit zielt auf die Eignung von Anlagen und Komponenten für bestimmte Reinraumklassen hinsichtlich deren partikulären Emissionsverhaltens ab. Reinheitstauglichkeit wiederum setzt auch die Eignung hinsichtlich definierter Endproduktspezifika voraus.

Neben diesen klaren Eigenschaftsdefinitionen regelt das Richtlinienblatt VDI 2083 Blatt 8 auch die Vorgehensweise zur Durchführung der erforderlichen Messungen. Vom Fraunhofer IPA vorgenommene Untersuchungen zur Reinraum- und Reinheitstauglichkeit werden nach diesen Vorgaben durchgeführt.