Molekulare Kontaminationen im Visier

In einer Vielzahl von Bearbeitungsprozessen hochsensibler Bauteile und Materialien (z.B. für die Halbleiterindustrie oder die Medizintechnik) können bereits schon gasförmige Kontaminationen die Produktqualität stark beeinträchtigen. Deshalb werden am Fraunhofer IPA im Rahmen der Untersuchungen der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit an Produktionseinrichtungen auch Ausgasungsspektren der eingesetzten Werkstoffe ermittelt.

Die Fertigung von Festplatten oder Speicherchips stellt hinsichtlich filmischer Verunreinigungen, verursacht durch leicht flüchtige, organische oder molekulare Verunreinigungen, mitunter die höchsten Anforderungen an die Kontaminationsfreiheit eingesetzter Produktionseinrichtungen. Die Produktionseinrichtungen müssen nicht nur auf deren Emission teilchenförmiger Verunreinigungen im Mikrometer-Bereich sondern auch auf das Kontaminationsverhalten bezüglich chemischer Ausgasungsprodukte geprüft sein. Fundierte Analysen des Ausgasungsverhaltens von Produktionshilfsmitteln und deren Komponenten geben Aufschluss über deren Prozesseignung.

Am Fraunhofer IPA wird mit modernster instrumenteller Analytik die Abgabe leicht flüchtiger, organischer oder molekularer Verunreinigungen von Produktionseinrichtungen ermittelt und mit den prozessspezifischen Grenzwerten korreliert, so dass eine Aussage über die Prozesstauglichkeit abgegeben werden kann.

Die Qualitätsmerkmale von Produktionseinrichtungen für Reinraumanwendungen werden mithilfe spurenanalytischer Methoden in akkreditierten Prüflaboratorien untersucht und mit dem Fraunhofer IPA-Prüfsiegel für Reinraum- und Reinheitstauglichkeit zertifiziert.