Ein wesentlicher Bestandteil der Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln stellt deren partikuläre Emission in die Produktionsumgebung dar. Das partikuläre Emissionsverhalten des Betriebsmittels charakterisiert dessen Reinraumtauglichkeit.
Am Fraunhofer IPA werden Betriebsmittel auf ihr partikuläres Kontaminationsverhalten in Referenzreinräumen geprüft. Mit diesen Untersuchungen lassen sich direkt Eignungen der Betriebsmittel für alle existierenden Luftreinhaltungsstandards wie z.B. DIN ISO 14644 - 1, US. Fed. Std. 209E, VDI 2083 Blatt 1 u.v.a. ermitteln.
Die Reinraumtauglichkeit eines Betriebsmittel wird gemäß VDI 2083 Blatt 8 bestimmt.
