Die Basis für die Untersuchungen im Rahmen der IPA-Qualifizierung am Fraunhofer IPA bildet die VDI Richtlinie 2083 Blatt 8 ”Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln”. Diese beschreibt eine standardisierte Vorgehensweise, die es ermöglicht, ein Betriebsmittel hinsichtlich aller relevanten Kontaminationsfaktoren zu untersuchen.

Die Vorgehensweise, die diese Richtlinie definiert, ist auf alle Betriebsmittel, die in Reinräumen zum Einsatz kommen, z.B. Linearachsen, Stühle, Pneumatikkomponenten, Wafer-Belackungsanlagen, Transfersysteme, Vakuumventile, oder Schiebetürsysteme anwendbar.

Die Reinraumtauglichkeit beurteilt das Partikelemissionsverhalten von Betriebsmitteln, da allen reinen Produktionen die Forderung nach einer minimalen Partikelbelastung gemeinsam ist.

Die Reinheitstauglichkeit betrachtet alle weiteren Parameter, die für das produktspezifische Produzieren unter reinen Bedingungen notwendig sind. Diese Faktoren beinhalten die branchenabhängigen Reinheitsforderungen wie z.B. die Chemikalienbeständigkeit oder die GMP/ FDA-Konformität für die Industriebranchen der Pharmazie oder der Lebensmittelindustrie.