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IPA-Qualifizierung


 
VDI 2083 Blatt 8
ESD
Biokontaminationen
Leistungsspektrum
Partikelemissionen
Strömung
Auswertung

ESD-Untersuchungen





Die Kenntnis des elektrostatischen Verhaltens eines Betriebsmittels besitzt für viele Prozesse, z.B. aus der Halbleiterfertigung, eine hohe Bedeutung für die produktrelevanten Qualitätskriterien.
Im Rahmen der IPA - Qualifizierung werden Untersuchungen des elektrostatischen Verhaltens durchgeführt. Dabei wird z.B. eine Eignung des Betriebsmittels für ESD - Protected - Areas (EPAs) nach DIN 100015-1 und IEC 61340-5-1 oder weiteren ESD-Regelwerken wie SEMI E78 ermittelt.

Der Einsatz von Betriebsmitteln, die hinsichtlich ihrer elektrostatischen Eigenschaften geprüft wurden, ist bei der Herstellung und Handhabung vieler Produkte ein wichtiger Qualitätsfaktor .

Video einer ESD-Untersuchung:


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