Der Fragebogen wurde an knapp 2700 Firmen bzw. Institutionen verschickt. Die Beteiligung der Firmen und Institutionen, die vollständig ausgefüllte Fragebogen und somit auswertbare Unterlagen an das Fraunhofer IPA zurücksandten, lag mit knapp 11% deutlich über den Rückläuferzahlen, die für eine derartige Umfrage üblich sind.
Die Auswertung des Fragebogens "Werkstoffe für Reinraum-Anwendungen" wurde in untenstehender Datei zusammengefasst.